国内唯一光刻机制造商落后15年,自研光刻机可能吗? 作者:二马路的冰排版:RedCandy出品:SOlab深度好文,3545字=8分钟阅读光刻机是芯片制造九大核心设备之首,融合了超精密光学、自动控制、超精密机械、微环境超精密控制等4... 光刻机 ASML EUV PigSay2022-12-08阅读(3324)