实现10纳米以下分辨率 日本学者紫外硬化纳米压印研究取得进展

集微网消息，东京理科大学（TUS）学者日前在纳米压印技术研究上取得突破，实现了紫外硬化纳米压印（UV-NIL）创建10纳米以下分辨率形貌的突破。UV-NIL技术由于不需要高温高压条...